Özellikler:

1) Nitrürleme hızı daha yüksektir, nitrürleme döngüsü uygun şekilde kısaltılabilir ve iyonik nitrürleme süresi, gaz nitrürleme süresinin 1/3-2/3'üne kadar kısaltılabilir.

2) Nitrürleme tabakasının kırılganlığı düşüktür ve plazma nitrürleme yüzeyinde oluşan beyaz tabaka çok incedir, hatta hiç yoktur. Ayrıca, nitrürleme tabakasının neden olduğu deformasyon azdır, bu da özellikle karmaşık şekillere sahip hassas parçalar için uygundur.

3) Enerji ve amonyak tüketiminde tasarruf sağlanabilir. Elektrik enerjisi tüketimi gaz nitrürlemenin 1/2-1/5'i, amonyak tüketimi ise 1/5-1/20'si kadardır.

4) Nitrürleme işlemi, nitrürleme istenmeyen kısım parlama yapmadığı sürece kolayca gerçekleştirilebilir; nitrürlenmeyen kısım kolayca korunabilir ve parlama mekanik koruma ve demir levha ile engellenebilir.

5) İyon bombardımanı yüzeyi arındırabilir ve pasivasyon filmini otomatik olarak kaldırabilir. Paslanmaz çelik ve ısıya dayanıklı çelik, pasivasyon filmi önceden çıkarılmadan doğrudan nitrürlenebilir.

6) Bileşik katman yapısı, infiltrasyon katmanı kalınlığı ve yapısı kontrol edilebilir.

7) İşlem sıcaklığı aralığı geniştir ve 350°C'nin altında bile belirli bir kalınlıkta nitrürleme tabakası elde edilebilir.

8) Çalışma koşulları iyileştirildi. Çevre dostu plazma nitrürleme işlemi, çok düşük basınç altında ve çok az egzoz gazı ile gerçekleştiriliyor. Gaz kaynağı azot, hidrojen ve amonyaktır ve temelde hiçbir zararlı madde üretilmez.

9) Paslanmaz çelik, yüksek nitrürleme sıcaklığına sahip ısıya dayanıklı çelik, takım çeliği ve düşük nitrürleme sıcaklığına sahip hassas parçalar dahil olmak üzere her türlü malzemeye uygulanabilir; oysa gaz nitrürleme için düşük sıcaklıkta nitrürleme oldukça zordur.