Özellikleri:

1) Nitrürleme hızı daha hızlıdır, nitrürleme çevrimi uygun şekilde kısaltılabilir ve iyonik nitrürleme süresi gaz nitrürleme süresinin 1/3-2/3'üne kadar kısaltılabilir.

2) Nitrürleme tabakasının kırılganlığı azdır ve plazma nitrürleme yüzeyinde oluşan beyaz tabaka çok incedir, hatta hiç yoktur. Ayrıca, nitrürleme tabakasının neden olduğu deformasyon küçüktür, bu da özellikle karmaşık şekillere sahip hassas parçalar için uygundur.

3) Enerji ve amonyak tüketiminde tasarruf sağlanabilir. Elektrik enerjisi tüketimi gaz nitrürlemenin 1/2-1/5'i, amonyak tüketimi ise gaz nitrürlemenin 1/5-1/20'si kadardır.

4) Yerel nitrürlemeyi gerçekleştirmek kolaydır, yeter ki nitrürleme istemeyen parça kızdırma üretmesin, nitrürlemeyen parçayı korumak kolaydır, kızdırma ise mekanik kalkanlama ve demir plaka ile korunabilir.

5) İyon bombardımanı, yüzeyi temizleyebilir ve pasivasyon filmini otomatik olarak çıkarabilir. Paslanmaz çelik ve ısıya dayanıklı çelik, pasivasyon filmini önceden çıkarmadan doğrudan nitrürlenebilir.

6) Bileşik tabaka yapısı, sızma tabakası kalınlığı ve yapısı kontrol edilebilir.

7) İşlem sıcaklığı aralığı geniş olup, 350 C'nin altında bile belirli bir kalınlıkta nitrürleme tabakası elde edilebilir.

8) Çalışma koşulları iyileştirilmiştir. Kirlilik içermeyen plazma nitrürleme işlemi, çok düşük basınç altında ve çok az egzoz gazıyla gerçekleştirilir. Gaz kaynağı azot, hidrojen ve amonyaktır ve neredeyse hiçbir zararlı madde üretilmez.

9) Paslanmaz çelik, yüksek nitrürleme sıcaklığına sahip ısıya dayanıklı çelik, düşük nitrürleme sıcaklığına sahip takım çelikleri ve hassas parçalar dahil her türlü malzemeye uygulanabilirken, gaz nitrürlemede düşük sıcaklıkta nitrürleme oldukça zordur.